湖南大学公布最新研究成果:无需EUV光刻机,可实现0.65nm工艺

近日,据国内媒体报道,湖南大学的研究团队实现了超短沟道的垂直场效应晶体管(VFET),沟道长度可以缩短到0.65nm,可以被用于低于1nm的MoS2垂直晶体管的转移范德华金属电极,目前该研究相关论文已登上了《Nature Electronics》。

我们都知道芯片内部集成了非常多的晶体管,而晶体管在芯片中均是平行排列的,所以提高芯片制程,其实就需要不断缩小晶体管的尺寸,同时缩小晶体管之间的距离,而这通常离不开光刻机,特别是当芯片制程工艺发展到7nm以下后,就必须要使用EUV光刻机才能实现。

而湖南大学团队研究的是另外一种技术,就是垂直场效应晶体管。简单的来讲,就是晶体管不是平行排列的,是垂直排列的。这种纵向的结构具有天然的短沟道特性,半导体沟道位于底电极与顶部电极之间,沟道长度仅取决于材料厚度。

△平行结构的沟道长度

△垂直结构的沟道长度

而垂直排列的晶体管,也不需要利用到高精度光刻机,来缩短晶体管与晶体管之间的距离,只需搭积木式的一层一层往上垒就行了,这就是不需要高精度光刻机的原因。

△垂直结构的积木,中间间隔特别小

事实上,一直以来都有科学家在研发这种垂直场效应的晶体管,湖南大学不是第一个研究的,但以往大家没有找到好的材料,所以这种晶体管垂直排列时,会受到垂直隧穿电流的影响,导致是只要在10nm以下时,就不受栅极调控,没法实现。

而这次湖大团队是以范德华(vdW)金属电极集成方法,以二硫化钼(MoS2)为材料,形成理想的范德华金属-半导体界面,才实现到了0.65nm的厚度,让这项技术变为可行。

据研究团队的专家介绍,该晶体管技术可以将晶体管做到只有3nm大小,沟道长度更是只有0.65nm。值得一提的是,在芯片领域,一般沟道长度指得就是芯片工艺的制程,也就是说0.65nm的沟道长度,就相当于0.65nm的芯片工艺,

编辑:芯智讯林子

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