业界 EUV技术仍不成熟,Intel、三星7nm遇阻 虽然台积电在加速推进7nm/5nm工艺,但是一个现实问题是,用于10nm以下芯片生产的关键技术或者说设备EUV(极紫外光刻)光刻机仍面临不少商用难题。2017年3月2日