每日归档: 2024年1月28日

关于High NA EUV光刻,你应该了解的5件事

关于High NA EUV光刻,你应该了解的5件事
经过十年的研发,ASML 于 2023 年 12 月正式向英特尔交付了首个High-NA(高数值孔径)EUV 光刻系统——TWINSCAN EXE:5000的首批模块, 代表着尖端芯片制造向前迈出了重要一步。