光刻机第一股？华卓精科顺利过会背后：消失的“光刻机双工件台”
9月17日，上海证券交易所披露信息称，上海证券交易所科创板上市委员会2021年第69次审议会议于2021年9月17日上午召开，审议通过了北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科”）科创板IPO上市的申请。
每日归档： 2021年9月18日
碳化硅功率器件厂商基本半导体完成C1轮融资
9月17日，碳化硅功率器件厂商——深圳基本半导体有限公司（以下简称“基本半导体”）完成C1轮融资，由现有股东博世创投、力合金控，以及新股东松禾资本、佳银基金、中美绿色基金、厚土资本等机构联合投资。本轮融资将继续用于加速碳化硅功率器件的研发和产业化进程。
光刻胶龙头JSR收购美国EUV光刻胶初创公司Inpria
9月18日消息，据日本媒体报道，日本材料企业JSR（日本合成橡胶）于9月17日发布消息称，将收购位于美国俄勒冈州的光刻胶企业Inpria Corporation。
