先进封装混合键合兴起，AFM检测设备受青睐

1月6日消息，据韩国媒体Thelec报道，以原子力显微镜（AFM）为主力产品的韩国纳米检测设备厂商Park Systems正受到全球芯片制造商的热烈追捧，因为其AFM设备是混合键合所使用的必备设备。

目前三星、SK海力士、台积电、美光和铠侠（Kioxia），都准备在芯片上应用混合键合技术。Park Systems 执行副总裁Cho Sang-joon接受采访时指出，已向部分芯片制造商提供测试设备，正与准备应用混合键合技术公司进行洽谈，这项最新的芯片封装技术有望得到广泛应用。

混合键合不使用凸块（bump）或导线来连接基板和芯片，而是采用精密的铜对铜互连，大幅提升封装I/O的数量。该技术的成功关键在于化学与机械抛光（CMP）的精准度，为了确保抛光达到理想效果，可采用AFM进行检测。与传统利用光学或电子间接测量的显微镜不同，AFM使用机械探针进行直接测量，能提供更高的精度与可靠性。

Cho Sang-joon认为，AFM发展仍处于早期阶段，其应用具有“无尽潜质”。目前推出市场的AFM中，三分之一用于研究，其余则用于工业应用。Park Systems公司供应的AFM将反映在今年营收中，预期三年内占总营收40%以上。至于2024年的营收预期为1,700亿韩元，并将营收13%用于研发。

Park Systems 成立于1997年，创办人Park Sang-il是斯坦福大学1985年发明AFM团队的成员。

编辑：芯智讯-林子