据天眼查资料显示，长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司（以下简称“嘉芯半导体”）于7月5日发生多项工商变更，新增比亚迪股份有限公司、深圳市创启开盈创业投资合伙企业（有限合伙）等为股东。

资料显示，嘉芯半导体成立于2021年4月，是由万业企业和国际顶级技术团队联合创办的集成电路前道设备的平台型公司。

2021年12月22日晚间，万业企业就发布公告称，公司携手宁波芯恩成立嘉芯半导体，以20亿元总投资规模，重点打造国内集成电路设备龙头企业。当时，万业企业持股占比80%为其第一大股东，宁波芯恩持股占比20%。

根据规划，嘉芯半导体项目，面积达109亩，拥有14万方厂房面积，覆盖刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等8寸和12寸半导体新设备开发生产及设备再制造业务，未来将形成种类齐全的设备基地。未来将形成年产2450台/套新设备和50台/套半导体翻新装备研发及制造基地。

自2022下半年开始，嘉芯半导体多次中标多款设备。官方消息显示，嘉芯半导体自成立以来，便迅速成功打入市场，累计订单已突破4.6亿元。其中包括氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机等在内的刻蚀设备，高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）等在内的薄膜沉积设备，以及快速热处理（RTP）、双燃烧 双水洗尾气处理等多个品类。

值得注意的是，不久前，万业企业旗下凯世通和嘉芯半导体携集成电路离子注入机、刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等设备产品亮相了SEMICON China。

据嘉芯半导体董事长兼CEO周伟芳介绍，嘉芯半导体投资兴建的109亩产业园区仅用8个月时间便完成了新建厂房的封顶，预计即将完成全部的竣工验收，下半年开始搬入，未来将成为华东地区最大的集成电路前道设备研发制造基地之一。

编辑：芯智讯-浪客剑