台积电南科再生水厂今日通水,全球首度将工业再生水用于半导体生产

台积电将于2024年取得ASML High-NA EUV光刻机,2025年量产2nm-芯智讯

9月19日消息,台积电促建的国内第一座民营再生水厂“台积电南科再生水厂”于 19 日正式通水,这也是全球首度将工业再生水用于半导体生产。台积电表示,将持续与政府推动再生水计划,台湾厂区 2030 年再生水替代率预计达到 60%的目标。

据了解,台积电南科再生水厂是由中鼎兴建营运,是国内第一座民营再生水厂,有别于政府的再生水厂是民生污水的再生水厂,这座再生水厂是工业废水再生水厂。据悉,工业废水再生的技术及品质控管难度高,台积电自 2015 年即开始发展再生水技术,2016 年打造半导体工业再生水试产线,回收处理工业放流水。因此,这也是全球首度将工业再生水用于半导体生产。

台积电南科再生水厂原先计划 2021 年开始供水,因政府再生水输水工程延迟,且从小型试产线,推进到大型的再生水厂并不容易,再生水厂试车就长达半年时间,直到 3 个月出水水质稳定,才决定于 19 日举办通水典礼。

台积电南科再生水厂预计 2023 年供水量将增至每天 2 万公吨,此外,台南永康及安平再生水厂供水量也将逐步扩增,至 2024 年,台积电南科厂区每天总计将使用 6.7 万公吨的再生水。

台积电表示,将持续积极与政府合作推动再生水计计划,不排除推动在竹科与中科建置再生水厂,2030 年台湾厂区再生水替代率预计达到 60%的目标。

编辑:芯智讯-林子

0

付费内容

查看我的付费内容