台积晶圆18厂气体污染影响轻微，具体原因曝光

7月底，台积电位于南科的晶圆18厂疑因氧气供应受到污染，导致部分产线停摆。由于晶圆18厂是台积电最先进的5nm制程生产基地，大客户苹果的新一代iPhone处理器A15正在该晶圆厂生产，由此也引起了市场高度关注后续影响。

当时，台积电就针对气体污染事件表示，已即时调度其他气体供应。为确保生产品质无虞，正进行严密后续作业；这事件目前已知对营运并无造成显著影响，后续将持续追踪。目前看来，该事件确实影响极其轻微。

据了解，当时晶圆18厂被污染，主要是因为半导体制程必须的氧气，被混入了氩气（Ar2）。氩气是一种无色无味的惰性气体，一般无害，但在高浓度下，会使人窒息。

这次晶圆18厂的氧气虽然遭到氩气污染，但因为氩气并不参与化学反应，所以对生产过程没有影响，工厂端只需要清洗储存槽即可。

法人认为，这起气体污染事件，将不影响台积电8月营收表现，也不会干扰苹果iPhone新机用的处理器A15的生产。

氩气常用于半导体、太阳能、显示器和LED制造商，最常见的用途是为大型矽晶体的生长或大型整块矽晶铸块的生产，提供一种惰性环境；晶体或晶块经切割后制成太阳能和半导体行业所使用的矽片。

而太阳能芯片生产是氩气消耗量最大的应用。氩气还可用于吹扫电子工艺设备，以免较高温度条件下发生有害化学反应。

编辑：芯智讯-林子  来源：经济日报