这款30年前问世的光刻机至今仍在使用，助力ASML登上光刻机龙头宝座

5月17日消息，不论是极紫外(EUV)光刻机或是深紫外( DUV)光刻机，都是当前芯片制造不可或缺的关键设备。而在光刻机领域，目前荷兰的艾司摩尔(ASML) 可谓是龙头老大。而在三十多年前，当时还落后竞争对手的ASML，如何能成为今天光刻机市场上的霸主？其关键就在三十年前推出的PAS 5500身上。

ASML 表示，1991 年ASML 首部​​PAS 5500 机台完成出货之后，直到今天，PAS 5500 仍是ASML 最长青的光刻设备，也是ASML 用途最广泛的产品线之一。当时在PAS 5500 出货之前，ASML在半导体光刻机市场仅位居第三，远落于竞争对首Nikon 和Canon 。然而，PAS 5500 的成功，很快的让ASML 晋升第二大光刻设备商，并为ASML 日后在光刻机录上龙头宝座打下基础。

资料显示，PAS 5500的命名源自1970 年代，是当时飞利浦的研究员开始实验一系列研发的设备，而PAS 5500 的全名“the Philips Automatic Stepper (PAS)”。而为了纪念这部机台的来源，也代表ASML 与飞利浦长期的合作关系，因此取名为PAS 5500。​

ASML 强调，问世的30 年后，每台PAS 5500 都在半导体制程中拥有自己的故事。举例来说，已经25 岁的PAS 5500/275，多年来被应用在存储(Memory) 以及RF 模组(Radio Frequency Module) 制程中，但它最近刚被翻修，并重新被销售到VR 技术制程的最前线，展开新的工作。仅管PAS 5500 已经不再被应用在最先进的制程中，但它们具备成本低、体积小、简单以及稳定性，在许多利基(Niche) 应用市场中是首选设备。为了持续支持使用这部机台的客户，当前ASML 已将相关的客户支持服务期限延后至2030 年以后。

编辑：芯智讯-林子  来源：technews