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ASML工厂火灾波及EUV光刻机部件生产:尚未恢复

1月10日消息,据媒体报道,本月3日,光刻机制造商阿斯麦位于德国柏林的一座工厂发生火灾,大火在当晚被扑灭,没有人员在火灾中受伤,阿斯麦随后也宣布将对火灾的影响进行评估,并对外公布相关的消息。

ASML德国柏林的工厂突发火灾,具体损失尚不确定

1月4日消息,近一年多来,全球半导体产能紧张,台积电等晶圆制造厂商也在积极扩大产能,作为半导体制造的关键设备——光刻机也是十分抢手,交货周期也一直是比较长。然而在这个关键时刻,全球光刻机龙头ASML的工厂突发火灾,目前损失还在评估中。

ASML下一代高精准度EUV光刻机售价将高达3亿美元

对于半导体制造来说,光刻机是极为关键的设备。数据显示,在先进制程产线当中,光刻机的成本占比高达22%,同时也在所有制造工序所消耗的时间当中占据了20%。而全球光刻机大厂ASML独家供应的EUV光刻机,则是制造7nm以下先进制程的必备设备。

英诺赛科成功导入ASML光刻机,进一步提升产能和产线良率

英诺赛科(珠海)科技有限公司为ASML光刻机成功导入8英寸硅基氮化镓量产线举办了庆典。英诺赛科于2021年引入ASML光刻机,凭借着其卓越的成像性能和独特的TWINSCAN架构(双晶圆工件平台),英诺赛科进一步提升了硅基氮化镓功率器件制造的产能及产线良率。此次庆典上,ASML副总裁兼中国区总经理沈波代表ASML被英诺赛科授予“最佳战略合作伙伴”称号。
硬件|EUV光刻的“致命弱点”

EUV光刻的“致命弱点”

几家供应商正在推出下一代检测系统和软件,以定位极紫外(EUV)光刻机工艺引起的芯片缺陷问题。每种缺陷检测技术都涉及到各种权衡,但由于EUV引起的随机缺陷最终会影响芯片的性能,在晶圆厂里使用一项或多项检测技术是非常必要的。