摘要:1月10日消息,据媒体报道,本月3日,光刻机制造商阿斯麦位于德国柏林的一座工厂发生火灾,大火在当晚被扑灭,没有人员在火灾中受伤,阿斯麦随后也宣布将对火灾的影响进行评估,并对外公布相关的消息。

ASML工厂火灾波及EUV光刻机部件生产:尚未恢复-芯智讯

1月10日消息,据媒体报道,本月3日,光刻机制造商ASML位于德国柏林的一座工厂发生火灾,大火在当晚被扑灭,没有人员在火灾中受伤,ASML随后也宣布将对火灾的影响进行评估,并对外公布相关的消息。根据ASML官网最新公布的信息显示,他们已完成柏林工厂火灾影响的初步评估。

ASML在官网上表示,上周一的火灾,发生在柏林工厂的一栋建筑中,火灾中的烟雾,部分影响到了相邻的建筑,受影响建筑的部分生产已能恢复,其他未受影响的建筑,已全面运营。火灾影响的损坏评估仍在进行中,但ASML方面表示,从目前的情况来看,他们计量和检测产品的产出计划将不会受到影响,因为没有相关的部件在柏林工厂生产。

虽然火灾未影响到计量和检测产品部件的生产,但ASML位于柏林的工厂,生产DUV和EUV光刻机的部分部件,这两类光刻机部分部件的生产,在火灾中都受到了影响。

ASML在官网上表示,DUV光刻机零部件的生产部分中断,生产已经恢复,预计他们将以一种不会影响DUV光刻机产量和收入计划的方式进行补救。

柏林工厂受火灾影响仍未恢复的,是EUV光刻机一个零部件的生产区域,恢复计划仍在进行中,他们已决定采取相关的措施,将对EUV光刻机客户、产出计划及服务的潜在影响降到最低。

ASML在官网上还表示,他们将在1月19日披露去年四季度及全年的业绩,预计会提供火灾影响的最新信息。