炬光科技为ASML核心供应商提供核心激光光学元器件

1月11日消息，近日炬光科技在投资者互动平台表示，公司为荷兰ASML核心供应商A公司提供光刻机用光场匀化器和半导体晶圆退火核心元器件。公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器，供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。

根据官网资料显示，炬光科技成立于2007年，该公司主要从事激光行业上游的高功率半导体激光元器件、激光光学元器件的研发、生产和销售。拥有经验丰富的技术研发团队，现已形成共晶键合技术、热管理技术、热应力控制技术、界面材料与表面工程、测试分析诊断技术、线光斑整形技术、光束转换技术、光场匀化技术（光刻机用）和晶圆级同步结构化激光光学制造技术九大类核心技术，产品逐步被应用于先进制造、医疗健康、科学研究、汽车应用、消费电子五大领域。炬光科技拥有国家地方联合工程研究中心、博士后科研工作站，获得国家技术创新示范企业等科研荣誉。2020年，炬光科技成功进入台积电供应链。

据了解，炬光科技的光场匀化器应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，并供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于ASML的光刻机中。而目前德国蔡司是ASML光刻机最重要的光学零部件供应商，因此，德国蔡司很有可能就是炬光科技前面提到的A公司。根据招股书显示，炬光科技的光场匀化器单价在20万元左右，2021年上半年用于光刻和其他应用的毛利率分别为67.3%和76.85%，是所有产品中毛利率最高的。

而炬光科技光场匀化器技术似乎主要源于2017年5月对于德国LIMO公司的收购。资料显示，LIMO成立于1992年，位于德国多特蒙德，为各种类型的激光器提供折射微光学和光学整形系统。2018年UV-L750线光斑系统获得了国际光学工程学会（SPIE）颁发的全球光电行业最高荣誉之一Prism Awards棱镜奖。

截至2021年6月30日，公司在中国境内依法取得专利证书的专利共计295项，其中发明专利117项、实用新型专利150项、外观设计专利28项，在中国境外依法取得专利证书的专利共计110项。公司科技成果分别获得陕西省科学技术奖一等奖、西安市科学技术奖一等奖，2019年被国家知识产权局授予“国家知识产权示范企业”。

编辑：芯智讯-林子