日本研发基于木基材料的光刻胶，可满足2nm制程需求

1月24日消息，据日本媒体报导日本两大纸业巨头之一的王子控股（Oji Holdings）正在向成为一家木制材料综合企业转型，其最新目标是开发一种采用木基生物质材料的正性光阻剂（光刻胶），目标是到2028年达成商业化。

报道称，王子控股在光阻剂生产上的技术路线，原则是从木材中提取可用于光阻剂的前体材料，然后将前体材料和特定溶剂混合聚合、并采用净化技术去除杂质之后，这样就得到了光阻剂的成品。对此，王子控股宣称其木基光阻剂可满足2nm先进制程需求，这代表的也是针对日本新创晶圆代工厂商Rapidus的商机而来。

事实上，传统的正性光阻剂通常需要添加有害的永久化学品PFAS来提高光敏感度。而王子控股的木基光阻剂在EUV极紫外光下的降解速率，相较传统产品高出8倍，特性取消了了PFAS的使用需求，而且更为环保的同时也可提升先进制成图案化的质量。

此外，传统光阻剂多为石油基塑料制品，木基光阻剂在生产原料上也可降低了温室气体的排放数量。王子控股表示，其在木基光阻剂上的商业目标是到2030年之前每年达到100亿日元的销售金额。

编辑：芯智讯-林子