彤程新材ArF光刻胶已实现批量出货

彤程新材ArF光刻胶已实现批量出货

据国产光刻胶大厂彤程新材官网消息,近期彤程新材的ArF光刻胶已实现批量出货。这意味着,彤程新材在光刻胶产品线上又取得了新突破。

据了解,彤程新材在去年就完成了数个ArF/ArFi光刻胶产品的开发,首批ArF光刻胶产品各项指标均达到国际光刻胶大厂产品水平,并已具备量产能力。

近期,彤程新材部分ArF/ArFi光刻胶产品通过国内芯片厂验证,取得了规模量产订单,已开始批量供货。同时随着新产品开发及客户验证的不断深入,预计多支ArF/ArFi产品将在今年下半年逐步实现量产导入。

在光刻材料领域,彤程新材设有多家研发中心,布局光刻胶及原材料的开发及量产工艺研究。过去几年里,彤程新材研发投入力度始终保持在较高水平,特别是2023年,全年研发投入近1.8亿,同比增长近14%;同时,占地3.6万平方米、配置了高水平实验室和科设施的彤程电子研发检测大楼在上海化学工业
区落成并投入使用;位于彤程化学的原创新中心大楼即将完成2.0版升级改造,将与彤程电子研发中心遥相呼应,为光刻材料的开发注入新动力。

编辑:芯智讯-林子

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