ASML透露0.75 NA EUV光刻设备或将在2035年到来！

2023年06月17日

据日本媒体mynavi报道称，ASML 首席商务官 (CBO) Christophe Fouquet 近日在比利时 imec 的年度盛会 ITF World 2023 上发表了题为“Extending Lithography into the 2030s to Support the World-Changing Semiconductor Industry”的演讲。他在演讲中强调需要2030年代开发NA=0.75的超高NA EUV曝光技术。

Christophe Fouquet表示，自 2010 年代以来（包括未来预测）需要通过曝光和 EPE（Edge Placement Error：衡量光刻胶图像的边缘与所需位置的距离，来解决的金属布线间距的变化），并表明金属间距在 2020 年代之前的六年中一直以 50% 的速度收缩，但这种速度可能会在 2030 年代放缓并达到饱和（如下图）。到目前为止，节点名称（晶圆厂用来宣传制程工艺节点的数字，下图底部绿色显示的数字）和最小金属布线的线宽是一致的，但近年来已经出现了较大的分歧。

首款High NA EUV光刻系统将在2023年底前出货

ASML 计划在 2023 年底前出货首个商用High NA（NA=0.55）EUV 曝光系统（用于原型制作），并于 2025 年开始出货量产设备。因此，从 2025 年左右开始，客户将能够从使用 NA=0.33 的传统 EUV 光刻工具的多重图案化切换到使用0.55 NA EUV 光刻工具的单一图案化，从而降低工艺成本并提高产量。

High-NA机器的光源是在美国加州圣地亚哥开发的，分划板是在美国康涅狄格州威尔顿开发的，光学系统是在德国奥伯科亨开发的，据说有预计入驻总公司“imec-ASML High NA Lab”的五大客户（Intel、TSMC、Samsung Electronics、SK hynix、Micron Technology），将可早日接触到High NA机器。Lam Research、KLA、HMI 和 JSR，以及提供镀膜机/显影剂（清洁轨道）的 Tokyo Electron 正在合作操作该实验室的高 NA EUV 曝光设备。

600W的EUV光源输出功率在研，800W在望

Fouquet表示，EUV 曝光用光源的输出功率一直在稳步增加，ASML传统型号的EUV光刻机的光源输出功率为 250 至 300W，最新型号 3600D 增加到 350W。在研究层面，已经做到了600W，未来800W指日可待。

在2030年代，使用High NA EUV设备的多重图案将与单一图案一起完成，以提高产量，并降低工艺成本，将需要更高的NA EUV曝光（NA=0.75）。Fouquet指出通过 DUV（干法）、ArF（浸没法）、EUV 和High NA EUV 曝光技术形成图案的每个晶体管的成本将发生变化。考虑到High-NA EUV的价格高于EUV曝光设备，每台已经价值可能达到3亿美元，超高NA EUV的开发取决于客户的要求和开发成本。