
4月4日消息,根据之前的规划,台积电美国亚利桑那州晶圆厂即将于2024年量产4nm制程。但是据外媒报导,由于当地水资源本就不够丰沛,台积电亚利桑那州晶圆厂恐面临缺水挑战。对此,台积电表示,将提升水资源使用效率,并计划在当地建置再生水厂。
众所周知,半导体制造对于用水的需求量较大,除了台积电正在当地在建两座晶圆厂之外,英特尔也正在当地建两座新晶圆厂,因此对于当地的水源需求也进一步加大。相比之下,美国亚利桑那州凤凰城的水资源却正面临减少的尴尬局面。
据巴隆金融周刊(Barron's)报导,凤凰城约有40%的水源是来自科罗拉多河(Colorado River),但随著这条河的水位比目标水位低40%,此外,7成水用于农业,另有至少29个原住民部落也提出水权要求。台积电在凤凰城可能面临复杂的“水政治”。
不过,台积电对此表示,在建厂规划初期,即与凤凰城市府官员密切沟通并确认水源供给状况。凤凰城多年来积极建造相关基础设施确保持续的供水,拥有科罗拉多河、维迪河(Verde River)、盐河(Salt River)、地下水与再生水共5种多元健全的水源供给规划,获亚利桑那州认证为百年用水无忧的城市。
台积电本身也将建造完备的废水处理及水资源回收系统,积极降低用水量及废水排放量,致力提升整体水资源使用效率。
除了进行酸碱废水、氢氟酸废水以及氨氮废水等处理,台积电将依排放水洁净程度分级,将最纯净的水再利用于生产制程,透过回收处理取得的次级用水则用于无尘室空气洗涤、冷却水塔等用途,降低用水。
台积电指出,无法回收使用的废水,透过系统进行最终废水处理,废水排放浓度优于亚利桑那州政府要求的放流水标准。台积电表示,除进行多层次的水资源回收与再利用处理,在当地也有建置再生水厂计划。
编辑:芯智讯-林子
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