中科二期扩建环评过关，台积电2nm厂即将开建

2月9日消息，攸关台积电2nm厂的中部科学园区台中园区扩建二期开发计划，于昨（8）日通过环评大会审查，预估产值可达新台币5,014亿元（约合人民币1,130.9亿元），将提供4,500个就业机会。这意味着台积电2nm厂即将开建。

据悉，环保署昨日召开环评大会，其中一案为中科二期扩建案。中科二期希望引进半导体产业，维持中国台湾半导体全球领先地位，据悉，台积电2nm厂将进驻，此案受高度关注，历经三次专案小组审查后，去年底通过环评初审，昨日再于环评大会闯关成功，顺利通过环评最后一关。

根据国科会中科管理局资料，中科二期扩建开发面积从原本94.62公顷，缩减至89.75公顷，但绿地面积“不打折”，维持原本的12.99公顷。

用水量方面，原本规划为10万CMD（吨／每日），随著面积缩减，略降至95,565 CMD，并承诺除民生用水外，终期100%再生水，全区用水回收率84%，并自设再生水处理设施，终期可产制2万CMD再生水。

用电方面，原规划总用电量975MW（百万瓦），也调降至925MW，并承诺进驻半导体厂商每年取得25%再生能源，2050年使用100%再生能源。

对此，台积电昨日表示“乐见其成”，并强调将秉持一贯的承诺的通过气候与能源、水管理、资源循环及空气污染防制等面向，以具体作为实践绿色制造。

据了解，台积电2nm厂区分别计划在竹科宝山、中科设厂。台积电董事长刘德音去年底在3nm量产典礼上特别指出，目前准备中的2nm晶圆厂，分别落址新竹与中部科学园区， 共计六期的工程皆依计划持续进展中。

台积电总裁魏哲家日前在今年1月法说会上也提及，台积电2nm进度比原先预期来得好，维持风险试产2024年、量产2025年的规划，目前进展良好。

资料显示，台积电去年进入2nm N2制程技术的开发阶段，着重于测试载具设计与实作、光罩制作及硅试产等，主要进展在于提升基础制程设定、晶体管与导线性能。在光刻技术部份，台积电研发组织藉由提升晶圆良率达到可靠影像以支持3nm试产，并提升极紫外光（EUV）的应用、降低材料缺陷与增进平坦化的能力，以支持2nm技术的开发。

在此前的2022年台积电技术论坛上，台积电也首度公布了其下一代先进制程N2（即2nm制程）的部分技术指标：相较于其N3E（3nm的低成本版）工艺，在相同功耗下，台积电2nm工艺的性能将提升10~15%；而在相同性能下，台积电2nm工艺的功耗将降低23~30%；晶体管密度仅提升了10%。

编辑：芯智讯-林子