台积电2021年节电4亿度，节水248万吨

7月1日消息，台积电最新公布的《台积公司110 年永续报告书》显示，台积公司致力打造半导体绿色供应链，考量制程机台用电量占全公司能源使用50% 以上，且先进机台数量逐年增加，2021年，台积公司「新世代机台节能行动专案」共提出365 项节能行动方案，其中159 项节能方案已通过验证，并应用于119 种5nm及未来的3nm的先进制程机台。还针对17 种耗能元件，专案导入高效能零件与节能设计，成功省下4 亿度年用电量。

报告书中还表示，「新世代机台节能行动专案」每年举行逾百场讨论会，寻找机台节能的机会点与创新思维。针对耗电量前6 大设备商，台积公司深入参与先进机台模组设计的节能理念、给予执行方针，并透过定期召开技术精进会议反覆验证绿色效益，并将节能规范纳入新机台采购标准规格，为全球第一家驱动设备商对先进机台导入节能措施的半导体企业，坚定迈向民国119 年平均机台设备节能效益20% 的永续目标。

除了在节电创造出成果之外，在用水的方面，报告书也指出，2021年，因先进制程净度需求提升与新建厂区启动运转，晶圆单位产品用水需求量增加，台积公司持续推动「提升系统产水率、厂务系统排水减量、增加厂务废水回收、降低系统排水损失」四大节水措施，积极寻求节水机会点，以达最大节流效益。

2021年，台积公司透过节水措施得以维持制程用水稳定供应，整体回收系统增加248 万公吨节水量，晶圆单位产品用水量为119.9（公升/十二吋晶圆当量‒ 光罩数），相较于基准年（民国99 年）的140.9（公升/十二吋晶圆当量─光罩数）下降14.9%，达成年度目标。晶圆单位产品废水排放量为78.9（公升/十二吋晶圆当量─光罩数），相较前一年单位产品废水排放量降低8%，显示台积公司推动节水措施有效提升水回收效率、降低废水排放量。

编辑：芯智讯-浪客剑

台积电《2021年度永续报告书》

https://esg.tsmc.com/download/file/2021_sustainabilityReport/chinese/c-all.pdf