解决“卡脖子”问题，国产光刻机项目用了他们的光源

从正面看去，一个比例被放大数十倍的立体玉龙跃然眼前，可当你伸手去触摸时，却只碰到了空气（见下图），2月20日，在位于新乡市红旗区新东产业集聚区的百合光电有限公司（以下简称百合光电），记者感受到了裸眼3D悬浮成像技术这一“黑科技”。

△大河报·豫视频记者高鹏文图

实现了微米级别光刻光源系统的国产化量产

除了上述裸眼3D悬浮成像技术，在百合光电，太阳光模拟系统，让人即使身处暗室也能尽情享受“日光浴”；深紫外辐照模拟设备，可以模拟太空光照环境，被用于建造卫星的材料筛选环节……

“这些只是我们研发路上的‘副产品’，今年国内的一家新能源汽车品牌参加车展时，也会用到这项技术。”百合光电总经理、英国南威尔士大学光电工程学博士张博说，在研发光刻光源的过程中，该企业掌握了高精度的光学元件加工技术，实现了微米级别光刻光源系统的国产化量产，产品品质达到了国际领先水平，“捎带”着生产出一系列“黑科技”产品。

“无论是悬浮感、对比度、分辨率，还是生态环保、使用寿命、综合成本，我们的产品都经得起市场的竞争和考验。”张博说。

研发生产过程中，深深感受到了被“卡脖子”的痛苦

2016年，张博带着一支6人科研团队，来到红旗区新东产业集聚区，注册成立公司，开始了光刻光源的研发。“研发生产过程中，深深感受到了被‘卡脖子’的痛苦，比如很多生产设备的部件，反光碗来自日本，还有的来自美国，那时我们无法完全实现‘中国造’。”

光刻、曝光设备是国家的战略装备，技术门槛高，投资大，周期长，而光学就是其中的核心难点之一。我国该领域起步晚，经验少，市场化的产品更是差距巨大。目前，虽然我国90纳米的设备已经验收，正在攻关28纳米的光刻机，但在市场上，就算是微米和亚微米级别，国外品牌依然是主流。

“为助力半导体装备产业实现国产化，不再被光刻光源‘卡脖子’，我们每年拿出企业年产值的20%~25%作为科研经费，与各大高校建立战略合作，从市场需求出发，定位技术攻关方向，联合培养人才，实现项目产业化。”张博说。

近几年，百合光电开发了系列UV-LED光源系列产品，绕过了国外在超高压汞灯、恒流源等领域建立的产业壁垒，在节能、环保、降低成本、提高品质等方面全面超越传统汞灯，符合国家碳达峰、碳中和的远景目标，实现了产品指标国际领先。在集成电路、液晶、线路板、LED等行业，百合光电已经成功开发并产业化了30余款系列产品，实现整机国产化。

正式成为中芯国际光学元器件的战略供应商

“酒香不怕巷子深”。中科院牵头的国产光刻机重大项目，采用的是百合光电提供的光源模组；作为国产光刻机民企“龙头”的大族激光，选用了百合光电生产的整套曝光系统；去年6月起，百合光电向半导体龙头企业中芯国际保质保量供应了光学零部件，前几天正式成为中芯国际光学元器件的战略供应商……

张博介绍，近5年，百合光电以年均增收20%的速度健康发展，未来两三年，预计年产值、利润增幅均将超过100%。“我们将继续探索和开创更多光的可能性，大力投入健康、环境、绿色、娱乐等产业，研发出更多更好的新产品。”