晶瑞股份购买的ArF浸没式光刻机顺利搬入实验室

根据苏州晶瑞化学股份有限公司（以下简称“晶瑞股份”）旗下的官方微信公众号“晶瑞化学”发布信息显示，1月19日，晶瑞股份购买的ArF浸没式光刻机顺利搬入实验室，当天晶瑞股份还举办了ArF光刻机搬入庆祝仪式。

早在去年9月28日晚间，晶瑞股份就曾发布公告称，将开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目。为此，晶瑞股份拟通过Singtest Technology PTE. LTD.进口韩国SK Hynix的ASML光刻机设备，总价款为1102.5万美元（折合7508万人民币）。受此消息影响，晶瑞股份次日股价也成功涨停，上涨19.99%，报收于42.86元。

“晶瑞化学”发布信息也显示，这台ArF型浸入光刻机型号为ASML XT 1900 Gi，已于2020年11月19日从原厂断电停机，并于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步，晶瑞股份将积极组织相关资源，尽快完成设备的安装调试工作。

据介绍，这台光刻机可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。目前晶瑞股份完成中试的KrF光刻胶已进入客户测试阶段，达到0.15μm的分辨率。

晶瑞股份表示，本次光刻机的顺利入驻可以保障公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性，对加快产品研发项目进度有积极影响，有助于公司将光刻胶产品序列实现到 ArF 光刻胶的跨越，并最终实现应用于 12 英寸芯片制造的战略布局。有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，对于提高公司可持续发展能力具有重大意义。

受此消息影响，20日晶瑞股份的股价一度上涨超过13%，随后冲高回落，最终收盘上涨3.36%。

编辑：芯智讯-林子