业界 7nm EUV难产?GlobalFoundries:ASML现有EUV光刻机仍不能满足标准! GlobalFoundries研究副总裁George Gomba近日表示,唯一有能力做250瓦EUV光刻机的ASML(阿斯麦)提供的现款产品NXE-3400仍不能满足标准,他们建议供应商好好检查EUV光罩系统,以及改进光刻胶。2018年2月28日