手机数码 ASML推出第一代HMI多光束检测机:速度提升600%,适用于5nm及更先进工艺 在现有的半导体工艺体系下,7nm以下的制程必须要用到EUV光刻机,而作为全球EUV光刻机的唯一供应商,荷兰的ASML公司的EUV光刻机的一直都是供不应求。近日,ASML公又进入到半导体检测设备领域,推出了第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,适用于5nm及更先进工艺,使得速度提升600%。2020年5月29日