标签： High-NA光刻机

1月19日，全球光刻机巨头ASML公布了最新的财报，其2021年第4季度及2021全年业绩均创历年新高且优于预期。ASML还宣布其2022年一季度，其第二代高数值孔径（High-NA）光刻机TWINSCAN EXE:5200获得了首个订单，这也意味着这款可以被用于2nm芯片制造光刻机的有望在2024年交付。