标签： EUV光罩盒

根据最新的数据显示，光刻机大厂ASML的极紫外光（EUV）光刻机在12月中完成了第100台EUV光刻机的出货，预估2021年其EUV曝光机产能可达45～50台规模，这也意味着EUV光刻机出货进入高速成长阶段。