标签： ALD设备

2月19日，泛林集团宣布推出全球首个利用金属钼的能力生产尖端半导体的工具ALTUS Halo，可以为先进半导体器件提供卓越的特征填充和低电阻率、无空隙钼金属化的高精度沉积。

12月21日消息，中国台湾镜头模组大厂大立光再度发动专利战，于中国大陆厦门中级人民法院对玉晶光电及子公司玉晶厦门提起侵犯专利权诉讼，这是时隔九年后，大立光再度对玉晶光电发起专利侵权诉讼。

9月28日消息，国产半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决方案的领先供应商——盛美半导体设备（上海）股份有限公司(以下简称“盛美上海”)今日宣布其对300mm Ultra Fn立式炉干法工艺平台进行了功能扩展，研发出新型Ultra Fn A立式炉设备。

2021年全球半导体制造设备销售额激增，中国第二次成为半导体设备的最大市场。SEMI最新公布的《全球半导体设备市场统计报告》（Worldwide Semiconductor Equipment Market Statistics (WWSEMS) Report）中显示，2021年全球半导体制造设备销售额比2020年增长了44%，达到1026亿美元的历史新高。中国第二次成为半导体设备的最大市场，销售额增长58%，达到296亿美元，这是连续第四年增长。