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近日，据中国微米纳米技术学会报道，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员，与国家纳米科学中心刘前研究员合作，在《纳米快报》（Nano Letters）上发表了题为《超分辨率激光光刻技术制备 5nm 间隙电极和阵列》（5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography）的研究论文，论文讲述了该团队开发的新型 5 nm 超高精度激光光刻加工方法。

作为国内最大最先进的晶圆代工厂，中芯国际在疫情疫情期间依然没有停产，同时还在扩大14nm等先进工艺产能。据媒体报道称，3月4日，中芯国际从荷兰ASML进口的一台大型光刻机已顺利进入深圳厂区。

近日，北京证监局披露了“北京华卓精科科技股份有限公司”（以下简称“华卓精科”）的第三期辅导工作报告，该公司拟登陆科创板。而根据华卓精科官网显示，其生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术上的垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。