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要攻关光刻机？上海电气股价涨停后紧急澄清

1月8日上午11时左右，一则关于上海电气的消息流出：上海电气已确定2021年旗下企业混合所有制改革及员工持股改革计划。随后。上海电气早盘应声涨停。然而，今天晚间上海电气盘后却发布了澄清公告。

2021年1月8日

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近日，据中国微米纳米技术学会报道，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员，与国家纳米科学中心刘前研究员合作，在《纳米快报》（Nano Letters）上发表了题为《超分辨率激光光刻技术制备 5nm 间隙电极和阵列》（5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography）的研究论文，论文讲述了该团队开发的新型 5 nm 超高精度激光光刻加工方法。