英特尔正测试盛美设备，或用于Intel 14A产线？

12月12日消息，据路透社援引两名知情人士的消息报导指出，芯片大厂英特尔（Intel）在2025年间测试了中国半导体设备制造商——盛美半导体（ACM Research）的半导体设备，引发了美国政府的关注。

报道称，英特尔测试的是总部位于美国加州Fremont 的盛美半导体的两台湿式刻蚀设备（wet etch tools），这些设备被用于针对英特尔计划于2027年量产的最先进的芯片制程——Intel 14A的制造测试。

而盛美半导体的大部分业务主要通过子公司盛美上海（ACM Research(shang hai)）在中国开展。在2024年12月，美国商务部将盛美半导体位于中国上海和韩国的子公司列入了实体清单，理由是他们协助中国制造先进芯片或芯片制造设备。对此，盛美半导体予以了否认。

目前美国政府已经是英特尔的第一大股东。美国国家安全人士担忧，英特尔在其先进的生产线中采用一家受制裁的中国企业的半导体设备，可能引发英特尔敏感技术专有知识泄露等安全问题。

白宫国家安全委员会前官员、现任外交关系委员会高级研究员Chris McGuire 表示，英特尔测试盛美半导体设备的行为，凸显了美国技术保护政策中存在的严重漏洞，是不应该被允许的。同时，他还质疑其设备有被远程操控或实体方式操控，从而影响英特尔生产的可能。

他还强调，美国公司不应参与帮助中国企业改进其芯片制造设备，因为这些设备是所有先进技术发展的基础。

值得一提的是，本月早些时候，美国国会众议院正式提出H.R. 6207号议案，即所谓的《芯片设备质量、实用性和完整性保护法案》（Chip EQUIP Act）。该法案希望通过修改前拜登政府的《芯片与科学法案》（CHIPS Act）中的资金补贴条款，要求所有受联邦补贴的项目，其所使用的半导体设备不得来自所谓“受关注外国实体”（FEOC），其中就包括了中国。

虽然盛美半导体主要通过“盛美上海”在中国开展业务，但是其总部位于美国，所以从法理上来说，盛美半导体是一家美国公司，并且被列入实体清单的也是盛美半导体的中国上海和韩国子公司，其美国公司并未列入其中。因此，盛美半导体直接向英特尔供应设备并未违反任何规定。

目前，路透社的报导也无法确定英特尔是否已决定将这些设备纳入其先进芯片制造流程当中，也没有证据表明英特尔违反了任何美国法规。

对此报导，盛美半导体表示，它无法对具体的客户合作发表评论。但证实旗下的美国团队已将多套来自亚洲业务部门的设备出售，并交付给美国国内客户。盛美半导体进一步透露，已向一家主要的美国半导体制造商运送了三套设备进行测试，其中一些已达到性能标准。

英特尔最新回应称：ACM's tools are not used in our semiconductor production process。”(盛美半导体的工具不用于我们的半导体生产过程。”)

编辑：芯智讯-浪客剑