总投资50亿元，国产光刻机工厂落户绍兴

近日，项目总投资约50亿元的上海图双精密装备项目落户绍兴市越城区，成为绍“芯”版图上的又一块新拼图。项目计划分两期实施。一期计划投资约5亿元，一期占地面积35亩，用于转移及扩大公司目前在上海的产能；二期计划投资约45亿元。两期将实现年产50-100台半导体设备的目标。项目正在建设中，预计2025年投产。

这家上海高新技术企业为何会将生产基地放在越城？上海图双董事长钟敏道出了背后的原因。去年下半年，基于连年的业绩增长，公司计划在长三角地区筹建大型生产基地。经过几次拜访和对接，钟敏被越城的满满诚意打动。“招商政策好，产业集聚性强，项目也有专人全流程服务，企业发展前景广阔。”谈及越城的营商环境，钟敏给予了很高评价。

经过多年的深耕细作，越城已集聚起近百家集成电路及相关规上企业，初步形成以特色工艺、先进封装为核心的全产业链条，产值规模超500亿元，稳居浙江省集成电路行业第一梯队。众多龙头企业齐聚，用精湛的技艺和无尽的创造力，将硅片转化为驱动未来的强大引擎。

光刻设备是发展集成电路产业的核心设备，却一直处于“卡脖子”状态。光刻机最先进的技术被荷兰的ASML、日本的尼康、佳能三大国际大厂垄断。尤其是最为先进的EUV光刻机，全世界仅有ASML一家能够提供。目前，在光刻机领域，国内众多集成电路生产企业仍需通过进口来满足产业发展的需求。

此次成功引入的上海图双精密装备项目，不仅能根据市场需求研发生产国产光刻机，也能对国外光刻机进行定制化改造、调试。“光刻机比较精密，设备的装调是相当重要的环节。”钟敏解释道，超高的精密度要求是造成光刻机技术难以在短时间内取得突破的主要原因之一。以EUV光刻机为例，其零件数量超过45万个，是一辆F1赛车的20倍以上。因而，光刻机从出厂，经船运或空运到达项目安装地后，还需要几个月的时间进行装调。

目前，上海图双的技术能力和资源已覆盖ASML、尼康、佳能三家公司的6寸、8寸、12寸光刻机，能按照不同的芯片产品特性及工艺进行设备再制造、技术匹配、工艺调试等定制化服务，从而更好地满足本地集成电路产业的“芯”质生产，在持续提升芯片价值的同时降低制造成本，与“芯”友共同推动集成电路产业的崛起。

作为半导体产业“皇冠上的明珠”，光刻机的动态进展格外受到关注。对于朝着浙江集成电路“第一区”目标冲刺的越城而言，完善半导体设备产业也是答好时代“芯”命题的必然要求。随着更多集成电路产业链核心项目的落地生根，越城的“芯”梦想愈发清晰。

来源：越城区融媒体中心