首套EUV设备安装完成，英特尔将在爱尔兰Fab 34量产Intel 4制程

9月29日消息，英特尔近日宣布，其位于爱尔兰的Fab 34晶圆厂已经完成了EUV（极紫外光）光刻设备的安装测试工作，目前已经正常开机，即将开始正式量产Intel 4制程技术。

英特尔表示，将于当地时间9月29日在现场举行活动，庆祝Intel 4制程技术的量产，公司高层人员也会参与，包括执行长Pat Gelsinger、技术开发总经理Ann Kelleher和营运长Keyvan Esfarjani等。届时英特尔将介绍如何通过EUV技术达成生产和产品交货的过程，引领其先进的产品生产，进一步提供人工智能（AI）处理器到个人电脑，再到大型数据中心所使用的各类处理器。

据了解，2022年4月，英特尔Fab 34晶圆厂完成了第一套EUV微影曝光设备的安装，这是欧洲首座具备EUV光刻技术的晶圆厂。过程中，大约有100多名ASML工程师到了Fab 34晶圆厂协助安装，同时英特尔从美国派来了工程师，负责培训Fab 34晶圆厂的员工如何使用EUV微影曝光设备机。之前，英特尔向ASML订购了多套EUV光刻设备，这其中的第一套就是安装在Fab 34晶圆厂。

另外，为在爱尔兰的Fab 34晶圆厂是于2019年开始动工，在2023年正式投产。英特尔曾表示，爱尔兰晶圆厂是其全球晶圆厂扩建计划的一部分，其是为了满足全球半导体迅速成长的需求，同时也为英特尔的Intel 4制程技术量产铺路。目前，英特尔计划以Fab 34晶圆厂的intel 4制程技术来生产Meteor Lake和Granite Rapids等处理器。

编辑：芯智讯-林子