担心刺激美国？ASML推迟向中芯国际交付EUV光刻机

据《日经亚洲评论》报道，全球最大的光刻机供应商、全球唯一的EUV（极紫外线）光刻机供应商荷兰ASML决定暂时中止向中芯国际交付EUV光刻机，而原因则可能是“担心刺激到美国”。

资料显示，中国最大的晶圆代工厂中芯国际（SMIC）于2018年4月向ASML采购了一台当时最先进的EUV光刻机，价值约1.2亿美元，预计将于2019年年初交付。而EUV光刻机则是制造7nm及以下更为先进的半导体制程工艺的关键。这也是ASML首次向中国公司出售其最先进的EUV光刻机。

然而，ASML此次暂时中向中芯国际交付EUV光刻机，无疑将对中芯国际后续先进制程的研发造成负面影响。

ASML公司表示：“荷兰政府目前正在处理EUV出口到中国的续期/延期的请求。在此之前，我们无法将EUV运往中国。”

不过，报道称，ASML之所以采取这一举动，是因为美国仔细审查了中国技术供应链中的所有主要公司，例如全球最大的芯片制造商台湾台积电，该公司向华为提供芯片。

据一位了解ASML的消息人士说：“ ASML目前决定推迟EUV设备的交付，是因为现在就将最先进的芯片设备运往中国，会让美国政府感到不安。”不过，消息人士也补充说：“ASML不想让中国及其中国客户感到不安（因为延误），因为那是其增长最快的（技术）市场。”这位知情人士说，原定于2019年底交付，到2020年中期完成安装。

资料显示，ASML销售额的大约16%来自美国，而其销售额的19%则来自中国。

目前尚不清楚是ASML推迟向中国中芯国际发货的原因是由于美国当局的直接或间接压力，还是真的只是因为ASML也在寻求荷兰政府的新出口许可证。

编辑：芯智讯-林子