8月28日晚间，北方华创发布公告称，公司上半年实现营业收入161.42亿元，同比增长29.51%；归母净利润32.08亿元，同比增长14.97%；扣非净利润31.8亿元，同比增长20.17%；基本每股收益4.45元，同比增长14.23%。

北方华创表示，上半年业绩增长主要因为公司订单增加，带来销售量的相应增加。

需要指出的是，上半年公司经营活动现金流净额为-31.91亿元，较去年同期-3.14亿元大幅减少917.34%。这主要是由于订单和研发投入增加。同时，公司并购支出增加，也导致投资活动现金流同比下滑252.21%，投资活动产生的现金流量净额为-23.98亿元。

高研发投入，拓展工艺覆盖度

北方华创以高强度研发投入与专利布局巩固技术领先地位。2025 年上半年，公司研发投入达29.15 亿元，同比增长30.01%，累计申请专利 9,900 余件，授权专利 5,700 余件，稳居国内集成电路装备企业首位。

北方华创相继迎来立式炉、物理气相沉积（PVD）两种装备的第1,000 台整机交付里程碑。加上前期达成该目标的刻蚀设备，公司已有三种主力装备产品累计出货量突破 1,000 台。同时，公司发布了离子注入设备、电镀设备、12 英寸先进低压化学气相硅沉积立式炉设备、多片式8 英寸SiC外延设备、GaN/GaAs MOCVD 外延设备等新产品，公司工艺覆盖度及市场占有率同步攀升，产品矩阵完整性和竞争力显著增强。为国内半导体装备产业注入新活力，推动产业技术进步和发展，助力中国半导体产业在全球竞争格局中实现更大跨越。

31亿收购芯源微

北方华创在业绩增长的同时，上半年大手笔收购同行业公司芯源微。

2025 年 6 月 23 日，北方华创以 31.35 亿元现金对价，通过两次协议受让方式完成对沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”）的股份收购，合计取得 35,964,665 股股份，约占芯源微总股本的 17.87%，成为芯源微第一大股东。同时，北方华创提名 4 名非独立董事和 1 名独立董事，在芯源微全部董事和非独立董事中均过半数，成为芯源微控股股东并取得控制权。

从业务上来看，芯源微在涂胶显影设备领域的技术实力与北方华创的蚀刻、薄膜沉积等设备形成互补，理论上可以为客户提供更完整的工艺解决方案。后续收购完成后的整合效果将是关键。

北方华创表示，本次取得对芯源微的控制权，有利于双方协同效应的发挥。一方面，双方可以通过合作，推动不同设备的工艺整合，协同为客户提供更完整、高效的集成电路装备解决方案；另一方面，双方可在研发、供应链、客户资源等方面加强协同，共同提升企业竞争力和股东回报能力。

编辑：芯智讯-浪客剑