标签： EUV光刻

现在三星、台积电的10nm工艺都已经开始量产，英特尔预计在今年内量产其10nm工艺。与此同时，7nm也早已被各家提上了日程。不过随着工艺的不断提升，难度也是越来越大，不仅仅是设计上的问题，还包括生产设备上的问题。目前要实现7nm工艺就需要用到EUV（极紫外）光刻机，而目前在这个领域，荷兰的ASML无疑是老大。