标签： 原子层沉积设备

2月19日，泛林集团宣布推出全球首个利用金属钼的能力生产尖端半导体的工具ALTUS Halo，可以为先进半导体器件提供卓越的特征填充和低电阻率、无空隙钼金属化的高精度沉积。

2021年全球半导体制造设备销售额激增，中国第二次成为半导体设备的最大市场。SEMI最新公布的《全球半导体设备市场统计报告》（Worldwide Semiconductor Equipment Market Statistics (WWSEMS) Report）中显示，2021年全球半导体制造设备销售额比2020年增长了44%，达到1026亿美元的历史新高。中国第二次成为半导体设备的最大市场，销售额增长58%，达到296亿美元，这是连续第四年增长。