上海新阳自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品已通过客户认证,并取得第一笔订单

6月30日晚间,上海新阳发布公告,宣布公司自主研发的KrF (248nm)厚膜光刻胶产品近日已通过客户认证,并成功取得第一笔订单。

众所周知,光刻胶是半导体芯片制造过程中所必须的关键材料。由于目前光刻机曝光光源一共有六种,分别是紫外全谱(300~450nm)、 G 线(436nm)、 I 线(365nm)、深紫外(DUV,包括 248nm 和 193nm)和极紫外(EUV),相对应于各曝光波 长的光刻胶也应运而生,对应分别为,G 线光刻胶、I 线光刻胶、KrF光刻胶、 ArF光刻胶、EUV光刻胶。

目前,在全球半导体光刻胶领域,主要被日本合成橡胶(JSR)、东京应化(TOK)、罗门哈斯、日本信越和富士材料等头部厂商所垄断。其中,在高端半导体光刻胶市场上,全球的 EUV 和 ArF光刻胶主要是 JSR、陶氏和信越化学等供应商,占有份额最大的是 JSR、信越化学,TOK 也有研发。

根据中国产业信息网数据显示,2019年我国 PCB光刻胶产值占比为94.4%,早已实现了国产化替代,但是在 LCD 和半导体用光刻胶产值占比仅分别为 2.7%和 1.6%,且主要集中在i线和G线光刻胶,在ArF光刻胶和KrF光刻胶领域仍主要依赖于进口。

上海新阳表示,KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的开发和产业化是公司第三大核心技术——光刻技术的重要方向之一,本次产品认证的通过及订单的取得,标志着“KrF(248nm) 厚膜光刻胶产品的开发和产业化” 取得了成功,为公司在光刻技术领域目标的 全面完成奠定了坚实基础。

随着国内晶圆厂建设的不断增多,以 及国外光刻胶巨头产能受限,供需紧张,国内对光刻胶产品的需求也将快速增长,上海新阳光刻胶产品的订单取得意义重大,将对公司该类产品的认证及销售产生积极 的作用,有利于公司业务的长期发展。

值得一提的是,在ArF光刻胶领域,南大光电的ArF光刻胶已经在去年通过了客户使用认证。

编辑:芯智讯-浪客剑

 

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