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陛通半导体首台高性能PECVD设备交付

据上海陛通半导体能源科技股份有限公司(简称:陛通半导体)官方消息,10月15日由陛通半导体研发制造的首台12英寸(300mm) 高性能PECVD化学气相薄膜沉积设备顺利出机正式交付国内某大型集成电路知名企业!