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很快，台积电和三星的5nm工艺即将量产，与此同时，台积电和三星的3nm工艺也在持续的研发当中。而对于5nm及以下工艺来说，都必须依靠EUV（极紫外）光刻机才能实现。而目前全球只有一家厂商能够供应EUV光刻机，那就是荷兰的ASML。