业界 面向3nm及以下工艺,ASML新一代EUV光刻机曝光 很快,台积电和三星的5nm工艺即将量产,与此同时,台积电和三星的3nm工艺也在持续的研发当中。而对于5nm及以下工艺来说,都必须依靠EUV(极紫外)光刻机才能实现。而目前全球只有一家厂商能够供应EUV光刻机,那就是荷兰的ASML。2020年2月17日
业界 ASML出货全新深紫外光刻机NXT2000i:用于7nm/5nm DUV工艺 据外媒报道,全球光刻机霸主ASML(阿斯麦)已经开始出货全新的深紫外光刻机Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i双工件台深紫外光刻机),可用于7nm和5nm节点。2018年8月3日