英特尔前CEO出任xLight董事长，推动FEL-EUV光源2028年商用！成本可降低3倍！
4月13日消息，英特尔前CEO帕特·基辛格近日在LinkedIn平台上发布博文称，其已经加入了 xLight 担任执行董事长。xLight官网上个月也公布了这一消息。
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绕开ASML专利，探讨EUV光源其他的路线
目前ASML是全球唯一的EUV光刻机的生产商，其先进的EUV光刻机由十万个零件组装而成也配合相应软件系统来控制相关零部件。不光是一整体光刻机运作有它的专利，而它的零部件也有自己的技术发明专利。如果有另外的厂商想制造相关EUV光刻机就要在不侵犯别家的专利产权下创造新技术出来。
成本可降低数倍！EUV光源的替代方案来了！
现在，一个非常规的替代方案正在酝酿中。位于日本筑波的高能加速器研究组织（KEK）的一组研究人员认为，如果利用粒子加速器的力量，EUV光源的获取可能会更便宜、更快、更高效。
EUV光刻光源核心部件研究获新进展，上光所锡液滴发生器达到100kHz工作频率
近日，国内权威期刊《激光与光电子学进展》日前发表由中国科学院上海光学精密机械研究所团队提交的《100 kHz重复频率锡液滴靶研究》一文。
ASML EUV光刻机关键部件供应商TRUMPF落户深圳！
据“滨海宝安”消息，5月24日，全球高端装备领域领先企业、全球光刻机巨头ASML的极紫外（EUV）光刻机的“drive laser”唯一供应商——德国通快集团（TRUMPF）宣布其在深圳的分公司成功开幕。
