中国科研团队完成新型光刻胶技术验证：为EUV光刻胶开发做技术储备
据“湖北九峰山实验室”官方微信公众号消息，近日，九峰山实验室、华中科技大学组成联合研究团队，支持华中科技大学团队突破“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”技术。
标签： EUV光刻胶
泛林集团、Entegris和Gelest携手推进EUV干膜光刻胶技术生态系统
北京时间2022年7月15日——泛林集团 (NASDAQ: LRCX)、Entegris, Inc. (NASDAQ: ENTG) 和三菱化学集团旗下公司 Gelest, Inc, 于近日宣布了一项战略合作，将为全球半导体制造商提供可靠的前体化学品，用于下一代半导体生产所需的、泛林突破性的极紫外 (EUV)干膜光刻胶创新技术。三方将合作对未来几代逻辑和 DRAM 器件生产所使用的 EUV 干膜光刻胶技术进行研发，这将有助于从机器学习和人工智能到移动设备所有这些技术的实现。
光刻胶大厂JSR CEO：即便中国获得相关化学成分资料，也造不出高端光刻胶
5月23日消息，据英国《金融时报》报道，近日日本光刻胶巨头JSR的首席执行官埃里克•约翰逊（Eric Johnson）在接受采访时表示，尽管中国大陆在努力推动芯片的自给自足，但中国半导体产业必要的基础设施不足，比如很难掌握基于极紫外（EUV）光刻的复杂芯片制造技术，发展先进制程的芯片制造技术将非常困难。
光刻胶龙头JSR收购美国EUV光刻胶初创公司Inpria
9月18日消息，据日本媒体报道，日本材料企业JSR（日本合成橡胶）于9月17日发布消息称，将收购位于美国俄勒冈州的光刻胶企业Inpria Corporation。
传三星已从JSR比利时工厂获得EUV光刻胶供应，森田化学也将通过中国合资公司向韩国供应高纯度氟化氢
据外媒报道，三星近日从欧洲获得了EUV光刻胶的供应。据悉三星从比利时一家公司获得了稳定的光刻胶供应，可以使用6到10个月。
