标签: EUV光刻机

3.5亿欧元!ASML展示High NA EUV光刻机

台积电或将较原计划提前采用High NA EUV光刻机

5月28日消息,根据wccftech的报道,虽然此前台积电公开表示其路线图上的最尖端制程A16仍将不会采用High NA EUV光刻机,但是最新的消息显示,台积电有可能会修正其既定计划,提前导入High NA EUV光刻机进行试验和学习。
3.5亿欧元!ASML展示High NA EUV光刻机

High NA EUV主要部件已经启动,达成“第一道光”里程碑!

2月29日消息,据外媒Tomshardware报导,ASML与英特尔于本周宣布达成了High NA EUV的重要里程碑。ASML已向英特尔交付的最先进High NA EUV光刻机Twinscan EXE:5000的主要部件已经启动,即首度打开光源并使光线到达晶圆上的抗蚀层,并开始运作,表示光源和反射镜已正确对准。这是High-NA EUV光刻机启动过程中的关键一步,尽管目前尚未达到峰值性能。

成本难题可解?ASML:Hyper NA EUV光刻机有望2030年商用!

继不久前对外公开展示了面向2nm以下尖端制程制造的High NA EUV光刻机之后,近日,AMSL在其2023年度报告当中还披露了其未来更为先进的Hyper-NA EUV技术的进展,并预计Hyper-NA EUV光刻机可能将会在2030年之际开始商用,为未来更尖端的芯片生产技术提供助力。
关于High NA EUV光刻,你应该了解的5件事

关于High NA EUV光刻,你应该了解的5件事

经过十年的研发,ASML 于 2023 年 12 月正式向英特尔交付了首个High-NA(高数值孔径)EUV 光刻系统——TWINSCAN EXE:5000的首批模块, 代表着尖端芯片制造向前迈出了重要一步。