• 不用EUV也能实现5nm？中科院研发新型激光光刻技术

    不用EUV也能实现5nm？中科院研发新型激光光刻技术

    近日，据中国微米纳米技术学会报道，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员，与国家纳米科学中心刘前研究员合作，在《纳米快报》（Nano Letters）上发表了题为《超分...
  • 晶方科技：光刻机厂商ASML为公司参与并购的Anteryon公司的最主要客户之一

    晶方科技：光刻机厂商ASML为公司参与并购的Anteryon公司的最主要客户之一

    6月11日消息，晶方科技在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为其参与并购的Anteryon公司的最主要客户之一，公司正同Anteryon进行业务技术的整合协同。...
  • ASML推出第一代HMI多光束检测机：速度提升600%，适用于5nm及更先进工艺

    ASML推出第一代HMI多光束检测机：速度提升600%，适用于5nm及更先进工艺

    在现有的半导体工艺体系下，7nm以下的制程必须要用到EUV光刻机，而作为全球EUV光刻机的唯一供应商，荷兰的ASML公司的EUV光刻机的一直都是供不应求。近日，ASML公又进入到半...
  • ASML光刻设备技术服务基地签约落户无锡

    ASML光刻设备技术服务基地签约落户无锡

    5月14日，阿斯麦（ASML）与无锡高新区举行了阿斯麦光刻设备技术服务（无锡）基地签约仪式，ASML决定在无锡高新区内升级基地。...
  • 受疫情影响，三星5nm量产要推迟？

    受疫情影响，三星5nm量产要推迟？

    4月14日消息，据《韩国商业报》报道，荷兰ASML是全球唯一一家生产EUV光刻机的制造商。由于受到疫情影响，荷兰ASML公司很难将设备出口，这给三星、台积电等在内的全球半导体厂商带...
  • 疫情过后，ASML即可向中芯国际交付EUV光刻机？

    疫情过后，ASML即可向中芯国际交付EUV光刻机？

    近日，ASML出乎意料的对外表示，“受到新冠病毒疫情影响，公司提供给武汉以及其它地区客户的EUV设备出货，因旅游限制而被延迟”。ASML这里提到的EUV设备的武汉客户应该就是中芯国...
  • 中芯国际购买的ASML光刻机顺利进厂，但并未非EUV光刻机！

    中芯国际购买的ASML光刻机顺利进厂，但并未非EUV光刻机！

    作为国内最大最先进的晶圆代工厂，中芯国际在疫情疫情期间依然没有停产，同时还在扩大14nm等先进工艺产能。据媒体报道称，3月4日，中芯国际从荷兰ASML进口的一台大型光刻机已顺利进入...
  • 面向3nm及以下工艺，ASML新一代EUV光刻机曝光

    面向3nm及以下工艺，ASML新一代EUV光刻机曝光

    很快，台积电和三星的5nm工艺即将量产，与此同时，台积电和三星的3nm工艺也在持续的研发当中。而对于5nm及以下工艺来说，都必须依靠EUV（极紫外）光刻机才能实现。而目前全球只有一...
  • 美国出手阻挠！ASML无法交货，中芯国际的EUV光刻机黄了？

    美国出手阻挠！ASML无法交货，中芯国际的EUV光刻机黄了？

    当地时间1月6日，路透社援引知情人士的消息报道称，美国特朗普政府正在以各种方式施压荷兰政府，以阻挠全球光刻机巨头ASML(阿斯麦)将其最先进的EUV光刻机给中国企业。正是由于美国政...
  • 中芯国际EUV光刻机订单遭ASML取消？路透社证实美国与荷兰政府合谋阻挠！

    中芯国际EUV光刻机订单遭ASML取消？路透社证实美国与荷兰政府合谋阻挠！

    据路透社报道，去年11月《日经新闻亚洲评论》曾援引消息人士的话称，荷兰半导体制造设备供应商阿斯麦尔（ASML）公司已经中止和中芯国际的7nm及以下的先进工艺EUV光刻机合作计划，并...
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