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中微半导体赢得起诉Veeco专利侵权的关键专利有效性审决

大突破!中微半导体5nm刻蚀机获台积电批量采购

财报还显示,中微半导体根据客户的需求已经开发出了5nm刻蚀设备,并且获得了行业领先客户的批量订单。虽然财报并未公开该“领先客户”的具体名字,不过应该可以确认是台积电,因为现在只有他们量产了5nm工艺。