标签: 离子注入机

凯世通低能大束流离子注入机单日产能突破历史新高

4月8日,国产半导体设备厂商凯世通宣布,今年四月初,凯世通低能大束流离子注入机于重点客户的产线之上取得重大突破,其产品片单日产能(24小时)在突破2400片大关后,快速突破至3200片,顺利实现了国产离子注入机在先进芯片产线量产的里程碑式跨越,彰显了国产设备在高端芯片制造领域的强劲崛起态势。

华海清科拟以10.045亿元收购芯嵛半导体82%股权

12月24日晚间,国产半导体设备厂商华海清科发布公告称,公司及上海分公司拟合计使用自有资金不超过10.045亿元,收购参股子公司芯嵛半导体(上海)有限公司(以下简称“芯嵛半导体”)剩余82%的股权。交易完成后,芯嵛半导体将成为华海清科全资子公司。

凯世通发布面向CIS的大束流离子注入机

3月21日,国产半导体设备厂商上海凯世通半导体股份有限公司(以下简称“凯世通”)在SEMICON China 2024上海国际半导体展览会上,发布了面向CIS的大束流离子注入机新产品。

芯片制造关键设备再突破,离子注入机实现全谱系产品国产化

据新华网报道,中国电子科技集团有限公司于3月17日对外宣布,该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术,已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,为我国芯片制造产业链补上重要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。