摘要:5月16日,据日本新闻网站Nikkei Asian Review引述消息报道称,全球最大的光刻机制造商荷兰的阿斯麦(AMSL)证实,中国最大的晶圆代工场已向荷兰订购了一台最新型的使用EUV(极紫外线)技术的光刻机。这台机器价值1.2亿美元,与其去年净利润1.264亿美元大致相当。消息来源称,这一设备预计将于2019年年初交付。

解禁了?中芯国际斥资1.2亿美元购入一台EUV光刻机-芯智讯

5月16日,据日本新闻网站Nikkei Asian Review引述消息报道称,全球最大的光刻机制造商荷兰的阿斯麦(AMSL)证实,中国最大的晶圆代工厂已向荷兰订购了一台最新型的使用EUV(极紫外线)技术的光刻机。这台机器价值1.2亿美元,与其去年净利润1.264亿美元大致相当。消息来源称,这一设备预计将于2019年年初交付。

值得一提的是,去年ASML中国区总裁金泳璇(Young-Sun Kim)在接受媒体采访时就表示,国内某客户已进入7nm工艺制程技术研发阶段,并且与ASML展开EUV光刻机采购的商谈。最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂。显然,金泳璇这里提到的客户就是中芯国际

目前中国大陆芯片制造产业当前面临多个技术难点,其中之一就是,必须要高端EUV光刻机,才能生产出更高端制程的芯片(比如7nm、5nm)。然而,目前全球仅有荷兰ASML能够为芯片制造商提供EUV光刻机。而且ASML的EUV光刻机的产能也比较有限,整个2017年,ASML仅生产12台EUV光刻机。不过,ASML仅靠着这12台EUV光刻机,在2017年就取得13.2亿美元收入。而这12台EUV光刻机也早早被其三大股东——英特尔、三星和台积电给包了。这也使得这三家晶圆代工厂在先进制程的研发上遥遥领先其他厂商。目前台积电的7nm已经量产,预计今年有50个产品tape-out。而三星的7nm很快也将走向量产。

相比之下,中芯国际今年下半年才量产28nm HKC 工艺,2019年上半年才开始试产14nm FinFET工艺。虽然,7nm工艺中芯国际也已经在研发当中,但是未来要向走向量产,甚至进入更为先进的5nm/3nm,就必须要有EUV光刻机的助力。

此次中芯国际成功购买到一台ASML的EUV光刻机也确实值得高兴,我们终于买到了世界最为先进的半导体设备,这将加快中芯国际追赶台积电、三星等厂商的步伐。但是我们也不能因此就天真的认为《瓦森纳协定》(Verdrag van Wassenaar)对于中国的禁运已经解除了。

《瓦森纳协定》又称瓦森纳安排机制,目前共有包括美国、日本、英国、俄罗斯等40个成员国。尽管“瓦森纳安排”规定成员国自行决定是否发放敏感产品和技术的出口许可证,并在自愿基础上向“安排”其他成员国通报有关信息。但“安排”实际上完全受美国控制。而中国(大陆)就在“被禁运”国家之列。

当“瓦森纳安排” 某一国家拟向中国出口某项高技术时,美国甚至直接出面干涉,如捷克拟向中国出口“无源雷达设备”时,美便向捷克施加压力,迫使捷克停止这项交易。

欧盟实施《瓦森纳协定》,主要体现于2000年6月欧盟理事会通过的“1334号法令”。该法令详细列举了军民两用品和技术清单,以及武器清单,其基本内容与“瓦协”的清单没有太大差别。在军民两用品和技术清单方面,该法令涉及到核材料、技术与设备;新材料、化学品、“微生物和有毒物品”;材料处理;电子;计算机;电信和“信息安全”,传感和激光;导航与电子;船舶;推进系统、航天器及其相关设备等共10大类。这项法令后来经过多次修订,目前成为对华高科技出口管制的主要“指导性文件”。

事实上,对于中国半导体领域的禁运一直存在,英特尔、三星、台积电2015年就能买到荷兰ASML的10nm光刻机,而中国大陆的中芯国际2015年只能买到ASML 2010年生产的32nm光刻机,5年时间对半导体来说,已经足够让市场更新换代3次了。显然,《瓦森纳协定》是真实存在的,荷兰属于欧盟国家,故总部位于荷兰的ASML也必须要遵守欧盟的“1334号法令”。那么为何中芯国际还能买到ASML目前最先进的EUV光刻机呢?

从目前全球半导体先进制程的进展来看,目前台积电的7nm已经量产,三星的7nm很快也将走向量产。而中芯国际虽然购买到了一台EUV光刻机,但是最快也要等2019年年初才会交货。也就是说等到2019年,中芯国际才能用上EUV光刻机进行一些试验性研发。按照中芯国际目前的进度,恐怕最快也要等到2020年底才可能量产10nm,而实际上更先进的7nm才会需要用到EUV。而且一台EUV光刻机最多也只能做试产,根本没法做量产。显然,中芯国际要想用EUV量产7nm,就需要采购更多的EUV光刻机,而ASML后续能卖你几台还不知道,即使能够继续买,乐观估计中芯国际7nm量产最快也要等到2022年了。而到那时,台积电、三星的3nm可能都出来了!大陆的半导体制程与海外仍将保持近两代的差距。

“其实(瓦森纳协定)一般要求满足国外与国内量产技术相差1.5代就可以”。一位业内人士这样告诉芯智讯。而且可以采购一台相对比较先进的光刻机用于研发,但是即使研发出来了先进的工艺,你如果只有一台研发设备也没法量产。

如此看来,ASML即使此时卖给中芯国际一台可以生产7nm的EUV光刻机(实际2019年才能进厂),也仍然是符合“瓦森纳协定”要求的。所以,即使ASML向大陆开放EUV光刻机的购买,也并不是真的意味着“解禁了”。

编辑:芯智讯-浪客剑