
1月15日,荷兰政府通过官网宣布,将加强其先进半导体制造设备的出口管制措施,自2025年4月1日起,更多类型的设备和技术将受到国家授权的要求。例如,新政策将适用于可被用于先进半导体生产的特定测量和检测设备。

这一新的授权要求是荷兰国家出口管制措施自2023年9月1日实施以来第二次修订。
荷兰对外贸易和发展部长Reinette Klever于当地时间周三在政府公报中表示:“我们认为保持对谁获得什么技术的控制权是很重要的。政府密切监控半导体制造技术。技术的发展可能使修改规则成为必要。我们注意到,这种特定设备不受控制的出口增加了安全风险。因此,今后需要出口许可。”尽管出口管制措施的扩大仅涵盖数量非常有限的技术和货物。
到目前为止,荷兰颁布的国家出口管制措施涵盖了半导体生产周期中的一些非常具体的技术,如光刻设备。现在,用于制造过程中其他步骤的有限技术现在也受到授权要求的约束。
具体原因在于,荷兰政府认为,与这些技术不受控制的出口相关的安全风险增加了。这些技术可以与其他国家的技术结合起来生产先进的半导体。这种先进的半导体可以反过来在先进的军事应用中发挥关键作用。
根据荷兰的国家授权要求,这些技术的出口现在也需要出口授权。荷兰政府将根据具体情况决定是否授权。国家措施适用于从荷兰向欧盟以外的所有目的地的出口。这并不构成出口禁令。
“半导体行业是国际化的。荷兰在这一领域发挥着独特的作用。重要的是,我们不能不必要地扰乱芯片行业。因此,在扩大出口管制措施时,我们将极其谨慎地开展工作,”Reinette Klever说。
虽然荷兰政府并未明确哪些荷兰企业的哪些测量和检测设备将会受到新的“出口管制”限制,不过从前面描述来看,应该指的是能够被用于先进制程制造过程当中的前道量测设备。

预计ASML的相关量测设备的出口可能会受到影响。因为ASML除了是全球最大的光刻机厂商之外,其也有量测业务,包括电子束检测方案和Yieldstar光学方案。
半导体检测与量测设备市场现状
从技术路线原理上看,半导体检测和量测设备主要包括光学检测技术、电子束检测技术和 X 光量测技术,其中光学检测技术空间占比较大。
根据 VLSI Research和 QY Research 的报告,2020 年全球半导体检测和量测设备市场中,应用光学检测技术、电子束检测技术及 X光量测技术的设备市场份额占比分别为 75.2%、18.7%及 2.2%。需要指出的是光学检测工具比电子束检测及 X光量测设备速度更快。
目前,全球半导体检测和量测设备市场也呈现国外设备企业垄断的格局, 全球范围内主要检测和量测设备企业包括科磊半导体、应用材料、日立、雷泰光电、创新科技、ASML等。其中,科磊半导体一家独大,根据 VLSI Research 统计的2020年数据显示,科磊当时在检测与量测设备的合计市场份额占比为 50.8%,全球前五大公司合计市场份额占比超过了 82.4%, 均来自美国和日本,市场集中度较高。

同时,中国半导体检测与量测设备市场中,设备的国产化率较低,市场主 要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位,其中科磊半导体在中国市场 的占比仍然最高,领先于所有国内外检测和量测设备公司,并且得益于中国市 场规模近年来的高速增长,根据 VLSI Research 的统计,科磊半导体在中国大陆市场近 5 年的销售额复合增长率超过 35.7%,显著高于其在全球约 13.2%的复合增长率。
根据 VLSI Research 的统计,2020 年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模为 21.0 亿美元,占全球半导体检测和量测设备市场比例为 27.4%。2020年时,中国半导体检测与量测设备市场中,设备的国产化率较低,市场主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位,其中科磊半导体在中国市场的占比最高,为 54.8%,其次依次为应用材料、日立,占比分别为 9.0%和 7.1%。这三家国外厂商在中国半导体检测和量测市场的份额合计超过 70%,呈现高度垄断的市场竞争格局。

随着芯片集成度不断提高,半导体量检测设备对于芯片制造的良率尤为重要,量测设备的需求量将倍增。我国半导体检测与量测设备市场规模也在持续增长,根据最新的数据显示,2023年中国市场规划已经达到42.3 亿美元规模。
在国内自主可控的趋势之下,本土检测设备企业的技术也快速推进。中科飞测相关设备的量产型号已覆盖2Xnm及以上工艺节点,1Xnm设备研发进展顺利。此外,上海精测电子束检测设备已经进入 1Xnm 验证,上海睿励自主研发的光学薄膜量测设备也已进入 14nm 产线验证。
编辑:芯智讯-浪客剑
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