标签： OPC软件

在光谷，华中科技大学教授刘世元创立的宇微光学软件有限公司（以下简称“宇微光学”），已成功研发全国产、自主可控的计算光刻OPC软件，填补国内空白。目前正在做集成与测试，并到芯片生产厂商做验证。