业界 中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户! 2月7日,农历新年后开工第一天,上海微电子装备集团(以下简称“上海微电子”)正式举行“中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式”,由上海微电子生产的中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。不过,具体客户未知。2022年2月7日