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实现5nm以下制程的关键技术:复旦教授成功攻克GAA晶体管技术

3nm、5nm关键技术:复旦教授成功验证实现GAA晶体管
12月17日消息,来自“复旦大学微电子学院”的消息显示,该校周鹏团队针对具有重大需求的3nm至5nm节点晶体管技术,验证了双层沟道厚度分别为0.6 /1.2nm的围栅多桥沟道晶体管(GAA,Gate All Around),实现了高驱动电流和低泄漏电流的融合统一,为高性能低功耗电子器件的发展提供了新的技术途径。据悉,相关成果已经在第66届IEDM国际电子器件大会上在线发表。