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EUV光刻光源核心部件研究获新进展，上光所锡液滴发生器达到100kHz工作频率

近日，国内权威期刊《激光与光电子学进展》日前发表由中国科学院上海光学精密机械研究所团队提交的《100 kHz重复频率锡液滴靶研究》一文。

据“滨海宝安”消息，5月24日，全球高端装备领域领先企业、全球光刻机巨头ASML的极紫外（EUV）光刻机的“drive laser”唯一供应商——德国通快集团（TRUMPF）宣布其在深圳的分公司成功开幕。